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【2h】

High-Speed, High-Accuracy Optical Measurements of Polycrystalline Silicon for Process Control

机译：用于过程控制的多晶硅的高速，高精度光学测量

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作者
Tyrone E. Benson; Arun Ramamoorthy; Leonard I. Kamlet; Fred L. Terry;
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年度 2007
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1. A High-Speed, High-Accuracy Optical Position Sensor Integrated with an Analog and Digital Signal-Processing Circuit [J] . KOZO OHTANI, MITSURU BABA Electronics and communications in Japan . 2011,第12期

机译：集成了模拟和数字信号处理电路的高速，高精度光学位置传感器
2. High-speed and high-accuracy position sensor for 3-D measurement using row parallel processing on the sensor plane [J] . Yusuke Oike, Makoto Ikeda, Kunihiro Asada 電子情報通信学会技術研究報告. 集積回路. Integrated Circuits and Devices . 2001,第282期

机译：使用传感器平面上的行并行处理进行3-D测量的高速，高精度位置传感器
3. High-speed and high-accuracy position sensor for 3-D measurement using row parallel processing on the sensor plane [J] . Yusuke Oike, Makoto Ikeda, Kunihiro Asada 電子情報通信学会技術研究報告. 集積回路. Integrated Circuits and Devices . 2001,第282期

机译：高速和高精度位置传感器，用于3-D测量的使用行并行处理在传感器平面上
4. High-resolution, high-speed inline optical topography measurement system for laser micro-machining process control [C] . K. G. P. Folkersma, L. A. Woldering, K. H. J. Voss, International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology . 2017

机译：用于激光微加工过程控制的高分辨率，高速内联光学形态测量系统
5. Measurement and control of silicon wafer temperature and oxide film thickness in rapid thermal processing using in situ ellipsometry. [D] . Sampson, Ronald Kevin. 1992

机译：使用原位椭偏仪在快速热处理中测量和控制硅片温度和氧化膜厚度。
6. Parallel Optical Control of Spatiotemporal Neuronal Spike Activity Using High-Speed Digital Light Processing [O] . Jason Jerome, Robert C. Foehring, William E. Armstrong, 2011

机译：时空神经元突波活动的并行光学控制使用高速数字光处理
7. Fabrication and Characterisation of Silicon Waveguides for High-Speed Optical Signal Processing [O] . Jensen Asger Sellerup, Oxenløwe Leif Katsuo, Frandsen Lars Hagedorn, 2015

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